[发明专利]易失性存储器件有效
申请号: | 201810289150.7 | 申请日: | 2018-04-03 |
公开(公告)号: | CN108695326B | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 金大益;张世明;朴济民;黄有商 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H10B12/00 | 分类号: | H10B12/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王新华 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开提供了易失性存储器件。一种易失性存储器件可以包括具有垂直侧壁的位线结构。下间隔物可以在垂直侧壁的下部分上,其中下间隔物可以由从垂直侧壁到下间隔物的外侧壁的第一厚度限定。上间隔物可以在垂直侧壁的在该下部分之上的上部分上,其中上间隔物可以由小于第一厚度的第二厚度限定,上间隔物暴露下间隔物的外侧壁的最上部分。 | ||
搜索关键词: | 易失性 存储 器件 | ||
【主权项】:
1.一种易失性存储器件,包括:位线结构,具有垂直侧壁;下间隔物,在所述垂直侧壁的下部分上,所述下间隔物由从所述垂直侧壁到所述下间隔物的外侧壁的第一厚度限定;以及上间隔物,在所述垂直侧壁的在所述下部分之上的上部分上,所述上间隔物由小于所述第一厚度的第二厚度限定,所述上间隔物暴露所述下间隔物的所述外侧壁的最上部分。
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