[发明专利]热板结构

摘要

本发明提供一种热板结构，包括：热腔体，热腔体由底板、侧板以及加热顶板围成，热腔体内填充有液体传热介质；加热装置，用于对液体传热介质进行加热，藉由液体传热介质对加热顶板进行传热，以提高加热顶板的受热均匀性；以及顶板温度探测器，设置于加热顶板中，用以监测加热顶板的温度并反馈至控制器，控制器基于温度控制加热装置的发热功率。本发明通过在热板中间设计一个热腔体，热腔体充满液体传热介质，在该热腔体中设置加热线圈与温度控制器，通过线圈对液体传热介质加热后间接传热至加热顶板，可以使加热顶板的温度更加均匀，提高控制精度，使晶圆上的图形线宽更加均匀，提高工艺良率。

主权项

1.一种热板结构，其特征在于，所述热板结构包括：热腔体，所述热腔体由底板、侧板以及加热顶板围成，所述热腔体内填充有液体传热介质；加热装置，用于对所述液体传热介质进行加热，藉由所述液体传热介质对所述加热顶板进行传热，以提高所述加热顶板的受热均匀性；以及顶板温度探测器，设置于所述加热顶板中，用以监测所述加热顶板的温度并反馈至控制器，所述控制器基于所述温度控制所述加热装置的发热功率。