[发明专利]一种碳纳米管/铜高载流复合导线及其制备方法在审
申请号: | 201810290246.5 | 申请日: | 2018-03-30 |
公开(公告)号: | CN108374187A | 公开(公告)日: | 2018-08-07 |
发明(设计)人: | 李儒;李沫;王旺平 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
主分类号: | C25D5/54 | 分类号: | C25D5/54;C25D3/38;C25D7/00;H01L21/48;H01L23/49 |
代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人: | 蒋斯琪 |
地址: | 621999 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及一种碳纳米管/铜高载流复合导线及其制备方法,该制备方法主要包括基于真空辅助的碳纳米管薄膜电镀工艺,且电镀工艺细分为种子层及常规电镀两步;采用本工艺可以制备均匀、致密及无氧化铜的碳纳米管/铜复合材料,基于此复合材料加工制备成的导线具有导电性好,载流能力高等优点。 | ||
搜索关键词: | 制备 碳纳米管 电镀工艺 复合导线 载流 致密 复合材料加工 碳纳米管薄膜 导电性 铜复合材料 载流能力 真空辅助 电镀 氧化铜 种子层 | ||
【主权项】:
1.一种碳纳米管/铜高载流复合导线的制备方法,其特征在于步骤如下:步骤1,将碳纳米管薄膜置于丙酮及异丙醇中除去油污,稀酸中除去催化剂颗粒,并烘干;步骤2,将步骤1处理后的碳纳米管薄膜(5)剪裁成合适的形状,放置于连接有真空泵(4)的平底漏斗(1)底部,并采用乙醇使其与漏斗底保持紧密贴合,同时连接真空缓冲设备(3);步骤3,开启真空泵(4),将含有铜离子的乙腈溶液(2)加入步骤2中所述的平底漏斗(1),使含有铜离子的乙腈溶液(2)在真空作用下透过碳纳米管薄膜(5),根据需要补加含有铜离子的有机溶液,保持抽滤;步骤4,待步骤3中的有机溶剂完全抽干后,继续开启真空泵(4),将电镀设备的阴极(6)与碳纳米管薄膜(5)连接,将电镀设备的阳极(7)与纯铜片(8)连接,并在平底漏斗(1)中加入含有铜离子水性电镀液(9),完成铜的电镀工艺,形成碳纳米管/铜复合薄膜;步骤5,将步骤4中的碳纳米管/铜复合薄膜,首先置于惰性气氛下处理,置于含有氢气的环境中还原处理;步骤6,将步骤5中还原处理后的碳纳米管/铜复合薄膜通过聚焦离子束加工成导线。
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