[发明专利]基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置及方法在审
| 申请号： | 201810292831.9 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108693203A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 薛莲;李中亮;罗红心;王劼 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置，用于检测待测元件的波前信息，包括沿光路的走向依次排布的同步辐射光源、单色器、散射体和探测器，单色器和散射体之间为一待测元件安装位置。此外，本发明还提供了两种采用该基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置的基于同步辐射光源的X射线散斑检测方法。本发明的基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置结合激光散斑检测与同步辐射X射线传播的理论方法，实现对光学元件的在线检测功能；此外，该装置将待测元件设置于散射体与单色器之间，使得该装置在适用于小型待测元件的在线检测同时，还可适用于不可移动的大型反射镜面的在线检测。 | ||
| 搜索关键词： | 同步辐射光源 散斑 待测元件 检测装置 单色器 散射体 在线检测 同步辐射X射线 激光散斑检测 在线检测功能 大型反射镜 波前信息 不可移动 光学元件 检测 探测器 光路 排布 传播 | ||
【主权项】：
1.一种基于同步辐射光源的X射线散斑检测装置，用于检测待测元件(3)的波前信息，其特征在于，其包括沿光路的走向依次排布的同步辐射光源(1)、单色器(2)、散射体(4)和探测器(5)，所述单色器(2)和散射体(4)之间为一待测元件安装位置。
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