[发明专利]阀装置有效
| 申请号： | 201810296982.1 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN109958814B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F16K31/00 | 分类号： | F16K31/00;F16K31/02;F16K37/00;F16K3/06 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种阀装置，在真空室的压力目标值已变更的情况下，能够迅速且稳定地进行压力调整。阀装置的阀控制器(2)基于压力当前值(Pr)与开度当前值(θr)，以使压力当前值(Pr)接近于压力目标值(Ps)的方式，对阀板(12)的开度进行控制。阀控制器(2)根据压力当前值(Pr)及由编码器(130)检测的开度当前值(θr)，进行对阀板(12)的开度进行粗调整的打开控制及对阀板(12)的开度进行微调整的关闭控制中的任一个控制。在打开控制中，推断预先设定的现在之前的预测对象时间中的压力预测推断值(Pp)，基于所述压力预测推断值(Pp)与压力目标值(Ps)进行粗调整。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种阀装置，其设置在真空室与真空泵之间，使阀体的开度发生变化而控制阀流导，所述阀装置的特征在于包括：开度检测部，对所述阀体的开度进行检测；以及控制部，输入有所述真空室的压力值及压力目标值，基于所述压力值与由所述开度检测部检测出的开度，以使所述压力值接近于所述压力目标值的方式，对所述阀体的开度进行控制，所述控制部根据所述压力值及由所述开度检测部检测的检测开度，进行对所述阀体的开度进行粗调整的打开控制及对所述阀体的开度进行微调整的关闭控制中的任一个控制，在所述打开控制中，推断预先设定的现在之前的预测对象时间中的压力预测推断值，并基于所述压力预测推断值与压力目标值进行所述粗调整，在所述关闭控制中，基于所述压力目标值与所述压力值进行所述微调整。
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