[发明专利]致动传感模块

摘要

一种致动传感模块，包含：主体，包括:第一隔腔，内部隔出第一隔室及第二隔室；第二隔腔，内部由承载隔板隔出第三隔室及第四隔室；微粒监测基座，设置于第二隔腔的第三隔室、承载隔板之间；多个致动器，包括:第一致动器，设置于第二隔室及第一隔板之间；第二致动器，设置于微粒监测基座的承置槽中；多个传感器，包括第一传感器，设置于第一隔室中，并对气体进行监测；第二传感器，设置于第三隔室中，以对第三隔室中的气体监测；以及第三传感器，位于微粒监测基座的监测通道中，以对监测通道的气体监测。

主权项

1.一种致动传感模块，其特征在于，包含：一主体，由多个隔腔结合组成，该多个隔腔包括:一第一隔腔，内部由一第一隔板区隔出一第一隔室及一第二隔室，且设有一第一进气口，连通该第一隔室，设有一第一出气口，连通该第二隔室，以及该第一隔板具有一第一连通口，以连通该第一隔室及该第二隔室；以及一第二隔腔，供与第一隔腔结合成一体，内部由一承载隔板隔出一第三隔室及一第四隔室，且设有一第二进气口，连通该第三隔室，设有一第二出气口，连通该第四隔室，以及该承载隔板具有一第二连通口，以连通该第三隔室及该第四隔室；一微粒监测基座，设置于该第二隔腔的该第三隔室、该承载隔板之间，具有一监测通道，且该监测通道一端具有一承置槽，与该监测通道连通；多个致动器，包括:一第一致动器，设置于该第二隔室及该第一隔板之间，以控制气体由该第一进气口导入该第一隔室，并透过该第一连通口连通而导送于该第二隔室中，再由该第一出气口排出，构成该第一隔室的单一方向气体导送；以及一第二致动器，设置于该微粒监测基座的该承置槽中，封闭该监测通道的一端，以控制气体由该第二进气口导入该第三隔室再导入该监测通道，并透过该第二连通口连通而导送于该第四隔室中，再由该第二出气口排出，构成该第二隔室的单一方向气体导送；多个传感器，包括：一第一传感器，设置于该第一隔室中，并与该第一致动器保持相互隔离，并对流通于表面的气体进行监测；一第二传感器，设置于该第三隔室中，以对导入该第三隔室中的气体监测；以及一第三传感器，承载于该承载隔板上，并位于该微粒监测基座的该监测通道中，以对导入该监测通道的气体监测。