[发明专利]一种感振波纹膜片及光纤加速度传感器与微振动检测系统有效
| 申请号： | 201810298328.4 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108663538B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 时金辉;俞本立;甄胜来;吴许强 | 申请（专利权）人： | 安徽大学 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03;G01H9/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 孙琴 |
| 地址： | 230601 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种感振波纹膜片及基于其的光纤加速度传感器与微振动检测系统，该感振波纹膜片包括复合薄膜和多个环形质量块，复合薄膜整体外形为壁厚均匀的盘状结构，复合薄膜下表面设有向上凹进的多个槽，多个槽包括一个中心槽和若干环形槽，中心槽和环形槽的深度相同，且中心槽和环形槽分别与复合薄膜同心设置，中心槽和若干环形槽内一一对应的贴覆设置有多个环形质量块，环形质量块的外壁与对应的槽的内壁相吻合，环形质量块的厚度小于槽的深度，环形质量块的上端面紧贴对应的槽顶壁，环形质量块的下端面高于复合薄膜的下表面以形成膜片的波纹状。本发明优点：提高微振动检测灵敏度，且实现光纤加速度传感器体积微型化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波纹 膜片 光纤 加速度 传感器 振动 检测 系统 | ||
【主权项】：
1.一种感振波纹膜片，其特征在于：包括复合薄膜和多个环形质量块，所述复合薄膜整体外形为壁厚均匀的盘状结构，所述复合薄膜下表面设有向上凹进的多个槽，多个槽包括一个中心槽和若干环形槽，中心槽和环形槽的深度相同，且中心槽和环形槽分别与复合薄膜同心设置，中心槽和若干环形槽内一一对应的贴覆设置有多个环形质量块，所述环形质量块的外壁与对应的槽的内壁相吻合，所述环形质量块的厚度小于槽的深度，所述环形质量块的上端面紧贴对应的槽顶壁，所述环形质量块的下端面高于复合薄膜的下表面以形成膜片的波纹状。
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