[发明专利]一种基于劈尖干涉的垂直振动位移检测装置

摘要

本发明公开了一种基于劈尖干涉的垂直振动位移检测装置，属于精密测量领域。包括单色点光源、准直透镜、劈尖干涉装置、倾斜支杆、底板、垂直支杆、质量块、弹簧、CCD相机、数据处理机。第一半反半透镜与第二半反半透镜构成夹角为θ的劈尖干涉装置。本发明通过数据处理机接收CCD相机实时拍摄的干涉条纹，并通过信号处理得到干涉条纹间距实时变化情况，从而得到底板在垂直方向产生的振动位移的大小及振动频率。本发明装置设计独特，结构简单，能够有效地检测垂直振动信息，如振动频率及振动位移，具有精度高、响应快、动态范围大等优点。

主权项

1.一种基于劈尖干涉的垂直振动位移检测装置，其特征在于：包括单色点光源、准直透镜、第一半反半透镜、第二半反半透镜、倾斜支杆、底板、垂直支杆、质量块、弹簧、CCD相机、数据处理机。所述单色点光源产生一束激光，波长在380nm至769nm的可见光光谱范围内。所述准直透镜镜单色点光源产生的发散激光经过准直为平行光束。所述第一半反半透镜与第二半反半透镜构成夹角为θ的劈尖干涉装置，平行光束以与第二半反半透镜法线方向经过劈尖干涉装置后，在第一半反半透镜下表面形成明暗相间的劈尖干涉条纹。所述CCD相机实时拍摄在第一半反半透镜下表面形成明暗相间的劈尖干涉条纹。