[发明专利]基于金属表面等离子诱导双波段响应的光电探测器及制备方法

摘要

本发明提供了一种基于金属表面等离子诱导双波段响应的光电探测器及制备方法，属于传感器技术领域。本发明探测器包括：衬底，硒化铟纳米片，金纳米阵列和两个金属电极。本发明中所用的光敏感材料为硒化铟，目前硒化铟基光电探测器的工作范围大多集中在紫外波段，其响应度从可见光波段开始严重衰减，使其在长波段无法正常工作。针对此问题，本发明中采用金属表面等离子体共振诱导的方法提高了硒化铟光电探测器在可见光区的量子效率，进而实现了其在紫外‑可见‑近红外的宽谱范围内具有双波段的探测功能。此外，这种新型双波段探测器具有结构简单、尺寸小、易于耦合焦平面读出电路等特点，有益于下一代多功能、多变量检测光探测器的开发。

主权项

1.一种基于金属表面等离子诱导双波段响应的光电探测器，其特征在于，包括：衬底、硒化铟半导体纳米片、金纳米阵列、两个金属电极。其中，衬底提供支撑；两个金属电极的厚度为20～50nm，间距为3～10μm，两个金属电极直接接触硒化铟半导体纳米片的两端；硒化铟半导体纳米片厚度为20～50nm；金纳米阵列在硒化铟半导体纳米片的上表面，通过金属表面等离子共振诱导硒化铟光电探测器在可见光区有较高的响应和灵敏度。