[发明专利]光电二极管及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201810308997.5 申请日: 2018-04-09
公开(公告)号: CN108470785A 公开(公告)日: 2018-08-31
发明(设计)人: 柯天麒;刘少东 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;H01L31/103;H01L31/18;H01L27/146
代理公司: 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 代理人: 吴靖靓
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种光电二极管及其制作方法,所述光电二极管包括:半导体衬底,所述半导体衬底的表面具有规则排布的凸块和凹面;第一掺杂区,包括所述凸块以及与所述凸块邻接的凹面;第二掺杂区,覆盖所述第一掺杂区,所述第一掺杂区和第二掺杂区的掺杂类型相反。所述光电二极管还包括覆盖所述第二掺杂区的介质层。所述的光电二极管应用于CMOS图像传感器,改进了量子转换效率,提高了CMOS图像传感器的性能。
搜索关键词: 掺杂区 光电二极管 凸块 凹面 衬底 半导体 量子转换效率 掺杂类型 规则排布 介质层 邻接 覆盖 制作 应用 改进
【主权项】:
1.一种光电二极管,其特征在于,包括:半导体衬底,所述半导体衬底的表面具有规则排布的凸块和凹面;第一掺杂区,包括所述凸块以及与所述凸块邻接的凹面;第二掺杂区,覆盖所述第一掺杂区,所述第一掺杂区和第二掺杂区的掺杂类型相反。
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