[发明专利]光电二极管及其制作方法在审
申请号: | 201810308997.5 | 申请日: | 2018-04-09 |
公开(公告)号: | CN108470785A | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 柯天麒;刘少东 | 申请(专利权)人: | 德淮半导体有限公司 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/103;H01L31/18;H01L27/146 |
代理公司: | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人: | 吴靖靓 |
地址: | 223300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种光电二极管及其制作方法,所述光电二极管包括:半导体衬底,所述半导体衬底的表面具有规则排布的凸块和凹面;第一掺杂区,包括所述凸块以及与所述凸块邻接的凹面;第二掺杂区,覆盖所述第一掺杂区,所述第一掺杂区和第二掺杂区的掺杂类型相反。所述光电二极管还包括覆盖所述第二掺杂区的介质层。所述的光电二极管应用于CMOS图像传感器,改进了量子转换效率,提高了CMOS图像传感器的性能。 | ||
搜索关键词: | 掺杂区 光电二极管 凸块 凹面 衬底 半导体 量子转换效率 掺杂类型 规则排布 介质层 邻接 覆盖 制作 应用 改进 | ||
【主权项】:
1.一种光电二极管,其特征在于,包括:半导体衬底,所述半导体衬底的表面具有规则排布的凸块和凹面;第一掺杂区,包括所述凸块以及与所述凸块邻接的凹面;第二掺杂区,覆盖所述第一掺杂区,所述第一掺杂区和第二掺杂区的掺杂类型相反。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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