[发明专利]一种一体化荧光检测装置及其制备方法在审
| 申请号： | 201810310735.2 | 申请日： | 2018-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN108982435A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 王凯;周褀 | 申请（专利权）人： | 佛山市顺德区中山大学研究院;广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 左恒峰 |
| 地址： | 528399 广东省佛山市顺德区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种一体化荧光检测装置，包括微流控芯片、发射光滤光片以及光电探测器，将发射光滤光片、光电探测器以及微流控芯片键合集成到一起，得到一体化荧光检测装置，体积较小；本发明的一种一体化荧光检测装置的制备方法，将光阻树脂涂布在双栅极光电薄膜晶体管上，通过曝光、显影、烘烤操作得到含有滤光膜的双栅极光电薄膜晶体管，在进行重复操作后得到含有一种以上的对应不同波长的滤光膜的双栅极光电薄膜晶体管，最后在将微流控芯片和集成了滤光膜的双栅极光电薄膜晶体管键合后可以得到一体化的检测装置，制备过程简单，制得的荧光检测装置可以同时检测多种荧光标志物。 | ||
| 搜索关键词： | 荧光检测装置 光电薄膜 双栅极 晶体管 微流控芯片 一体化 滤光膜 发射光滤光片 光电探测器 键合 制备 荧光标志物 检测装置 树脂涂布 制备过程 重复操作 烘烤 波长 光阻 显影 曝光 检测 | ||
【主权项】：
1.一种一体化荧光检测装置，其特征在于：包括用于装载荧光标志物的微流控芯片(1)、发射光滤光片(2)以及用于将光信号转换成电信号的光电探测器(3)，所述微流控芯片(1)、发射光滤光片(2)以及光电探测器(3)依次排列设置，所述发射光滤光片(2)采用光刻技术集成在光电探测器(3)的上表面，所述微流控芯片(1)的下表面与集成了发射光滤光片(2)的光电探测器(3)的上表面键合成一体式结构，所述发射光滤光片(2)包括一个以上的对应不同波长的滤光膜(21)，所述滤光膜(21)平行排列设置在光电探测器(3)的上表面。
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