[发明专利]一种6轴联动石英坩埚熔制机及其熔制方法

摘要

本发明公开了一种6轴联动石英坩埚熔制机及其熔制方法，属于坩埚熔制机技术领域，包括升降机、联动主板和模具支撑台，升降机带动联动主板上下移动，联动主板内设有中空的圆形联动转轴，联动转轴内均匀的设有6个联动轴孔，每个联动轴孔内均安装有加热电极，联动主板上安装有两个喷头，两个喷头的外侧由耐高温的保护套包裹，保护套外侧安装有多个温度传感器，模具支撑台上设有旋转台，模具通过隔热外壳设置在旋转台上，模具内成型石英坩埚，模具顶部盖有隔热板。本发明解决石英坩埚熔制存在的能耗高、熔制出的坩埚粗糙度高、使用寿命低的问题，通过六轴联动，能够自动对心，减小了加热电极与石英坩埚之间的距离，增加加热温度。

主权项

1.一种6轴联动石英坩埚熔制机，包括升降机(1)、及设置在升降机(1)底部的联动主板(2)、及设置在联动主板(2)下的模具支撑台(3)，升降机(1)带动联动主板(2)上下移动，其特征在于，联动主板(2)内设有用于6轴联动的中空的圆形联动转轴(18)，联动转轴(18)内均匀的设有6个联动轴孔(19)，每个联动轴孔(19)内均安装有用于对石英坩埚进行加热的加热电极(8)，位于中空的联动转轴(18)的中心位置的联动主板(2)上安装有两个喷头，两个喷头的外侧由耐高温的保护套(9)包裹，保护套(9)外侧安装有多个温度传感器(10)，模具支撑台(3)上设有旋转台(4)，模具(6)通过隔热外壳(5)设置在旋转台(4)上，模具(6)内成型石英坩埚，模具(6)顶部盖有隔热板(7)。