[发明专利]用于在沉积方法中使化学前体鼓泡的无气溶胶容器

摘要

本发明描述了无气溶胶容器、递送贮器、使用其的系统和方法，以提供对用于沉积方法的贮器中前体利用的改善、以及贮器的清洁和再填充。由于某些前体分解蒸气而导致的阀门和管道堵塞得以最小化。本发明防止雾的形成并因此防止来自气溶胶的堵塞或晶片污染。

主权项

1.一种无气溶胶容器，所述容器包含：流动导管，其具有起点、终点以及在所述起点和所述终点之间的定向转折；和含有气溶胶的流体，其从所述起点流动；其中所述定向转折使所述气溶胶在所述无气溶胶容器中的停留时间最大化，以相变为蒸气；和所述流动导管从所述起点到所述终点逐渐升高。