[发明专利]黑硅沉银槽入水和出水机械臂运行方法在审
申请号: | 201810314548.1 | 申请日: | 2018-04-10 |
公开(公告)号: | CN108493298A | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 邵震;季九江;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 于桂贤 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种黑硅沉银槽入水和出水机械臂运行方法,在机械臂提花篮进入沉银槽前会开始适当减速至停顿一定时间,再缓慢匀速进入沉银槽内,减小入液水花,放篮,并缓慢出水。在机械臂取花篮进入沉银槽前会开始适当减速至停顿一定时间,再缓慢匀速进入沉银槽内,减小入液水花,取篮,并缓慢出水,适当减速至停顿一定时间,减少带液量。 | ||
搜索关键词: | 沉银槽 机械臂 出水 停顿 减速 黑硅 减小 入水 水花 花篮 带液量 | ||
【主权项】:
1.一种黑硅沉银槽入水和出水机械臂运行方法,其特征在于:包括放篮和取篮两个过程,放篮过程:首先采用机械臂将装有黑硅的花篮提起,并运送至沉银槽上方,然后机械臂带动花篮以速度V1向下运动逐渐靠近沉银槽的液面,在花篮距离沉银槽的液面高度为H1时,机械臂开始减速下降并停顿时间T1,然后再以速度V2缓慢匀速进入沉银槽内,将花篮放置在沉银槽内,机械臂退出;其中,H1的范围为5cm‑20cm,V1的范围为400mm/s‑500mm/s,V2的范围为150mm/s‑200mm/s,且满足V1>V2;取篮过程:首先,空载的机械臂运行至沉银槽上方,然后以速度V3向下运动逐渐靠近沉银槽的液面,在花篮距离沉银槽的液面高度为H2时,机械臂开始减速下降并停顿时间T2,然后再以速度V4缓慢匀速进入沉银槽内将花篮夹持住,携带花篮的机械臂以速度V5缓慢匀速提起花篮,当花篮出水高度为H3时,机械臂减速并停顿时间T3,然后以速度V6缓慢匀速提起花篮出水;其中,H2的范围为5cm‑20cm,H3的范围为5cm‑20cm,V3的范围为400mm/s‑500mm/s,V4的范围为150mm/s‑200mm/s,V5的范围为150mm/s‑200mm/s,V6的范围为400mm/s‑500mm/s,且各个阶段的速度之间满足(V3=V6)>(V4=V5)。
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