[发明专利]扫描探针显微成像系统的漂移校正装置及自动校正方法

摘要

本发明公开了一种扫描探针显微成像系统的漂移测量及自动校正方法。该方法首先在装入探针和样品、仪器开机进入稳定状态后，连续扫描一系列图像。以图像中的某些显著特征作为模板，利用图像模板匹配算法，分别计算出当前模板在各图像中的x和y方向上的位置。通过对每幅图像中模板位置的分析，得到当前扫描探针显微成像系统在x和y方向上的漂移方向和漂移速率，并根据扫描特探针系统的压电平台参数计算得到补偿该位移量的偏压的大小和极性。在实际扫描成像实验时，将补偿电压串联接入压电陶瓷的驱动电路实现补偿。本发明提供了一种扫描探针显微成像系统的漂移测量及自动校正方法，可降低系统漂移对成像质量的影响，提高探针扫描系统的定位精度和成像空间分辨率，具有重要的应用价值。

主权项

1.扫描探针显微成像系统的漂移校正装置，所述扫描探针显微成像系统通过压电陶瓷部件驱动扫描探针移动；其特征在于：该漂移校正装置包括图像模板匹配模块、数据处理模块和补偿生成模块；图像模板匹配模块，用于提取扫描探针显微成像系统的图像特征，并通过图像模板匹配算法提取选定的特征的坐标参数；数据处理模块，用于通过一组对应同一特征的坐标参数获得该特征的漂移速率和漂移方向；补偿生成模块，用于根据数据处理模块获得的漂移速率和漂移方向生成补偿电压，并将该补偿电压叠加至扫描探针显微成像系统的压电陶瓷部件的驱动电路。