[发明专利]一种光纤侧面荧光物质沉积微型探针三维传感装置、传感方法及探针制备方法有效
| 申请号： | 201810315887.1 | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN108519057B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 邹丽敏;倪赫;李博;郭清源;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 23209 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李晓敏 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙;23 |
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| 摘要： | 一种光纤侧面荧光物质沉积微型探针三维传感装置、传感方法及探针制备方法，属于微尺寸测量技术领域；本发明是为了解决现有光纤探针所面临的光耦合效率低，结构复杂，不具备轴向探测能力或轴向探测能力受限的问题。通过光纤熔融挤压或拉伸方式改变纤芯结构，通过物理气相沉积工艺在光纤侧面沉积荧光物质，使侧向入射的荧光从光纤包层耦合进入纤芯内部进而从端面出射，通过弹性膜片实现对光纤探针的悬挂及导向，结合共焦探测原理获得高分辨力的三维光纤探针系统。本发明的特点是：探针重量轻且结构简单、探测信号为高质量光斑且光强稳定、分辨力高且具有轴向探测能力。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤侧面 光纤探针 荧光物质 轴向 沉积 三维传感装置 探测 探针制备 微型探针 传感 尺寸测量技术 物理气相沉积 光耦合效率 光斑 侧向入射 弹性膜片 光纤包层 光纤熔融 拉伸方式 能力受限 探测信号 探测原理 纤芯结构 纤芯内部 耦合 高分辨 重量轻 荧光 出射 共焦 光强 探针 分辨 三维 挤压 悬挂 | ||
【主权项】：
1.一种光纤侧面荧光物质沉积微型探针三维传感装置，其特征在于，包括弹性膜片(1)、固定装置(2)、宽场照明系统(3)、光纤侧面荧光耦合探针(4)、准直透镜(5)、滤波片(6)、管镜(7)和CCD探测器(8)；/n所述光纤侧面荧光耦合探针(4)通过弹性膜片(1)悬挂在固定装置(2)上，宽场照明系统置于弹性膜片上方，提供光源发出的光束照射在光纤侧面荧光耦合探针(4)侧面的被荧光物质包裹区域，荧光从光纤侧面荧光耦合探针(4)的包层耦合进入光纤侧面荧光耦合探针(4)内部进而从出射端面出射，在光纤侧面荧光耦合探针(4)的出射光路上依次配置准直透镜(5)、滤波片(6)、管镜(7)和CCD探测器(8)；/n所述光纤侧面荧光耦合探针(4)包括单模光纤，单模光纤的中部部分区域为被荧光物质包裹区域，该区域为外凸形结构；单模光纤一端为切平面，作为探针的出射端面；单模光纤另一端熔融有球状测头。/n
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