[发明专利]一种基于MEMS工艺薄膜应变热导率测试装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于MEMS工艺薄膜应变热导率测试装置及方法，包括在外屏蔽罩下方设有的加热台，在外屏蔽罩内设有载物台，在载物台上设有压电测试装置，在压电测试装置上放置有测试片；在外屏蔽罩内壁设有温度传感器和通气孔；通过压电测试装置的压电驱动部件施加位移，压电测试装置的带动连接片，将位移施加到测试片使得镀有薄膜的测试片上的薄膜产生应变，应变大小为施加位移与应变片的设计大小比值确定。通过控制进给位移来控制薄膜应变的大小，通过向测试电极通入交流电流，通过读取从测试电极采集的3ω谐波的成分的大小并进过推导公式计算得到待测薄膜的热导率。此方法简单，完全满足测量薄膜不同应变下不同温度下的热导率的要求。

主权项

1.一种基于MEMS工艺薄膜应变热导率测试装置，其特征在于，包括一个外屏蔽罩(2)，在外屏蔽罩(2)下方设有加热台(3)，在外屏蔽罩(2)内设有载物台(4)，在载物台(4)上设有压电测试装置(5)，在压电测试装置(5)上放置有测试片(1)；在外屏蔽罩(2)内壁设有温度传感器(7)和通气孔(6)；所述压电测试装置(5)包括依次连接的金属连接块(51)、压电驱动部件(53)和连接片(52)；制备有待测薄膜的测试片(1)连接在金属连接块(51)和连接片(52)上，待测薄膜上的测试电极与检测系统和计算机相连；通过压电驱动部件(53)施加位移带动连接片(52)，将位移施加到测试片(1)，使得镀有薄膜的测试片上的待测薄膜产生应变，通过控制进给位移来控制待测薄膜应变大小，向测试电极通入交流电流，读取从测试电极采集的3ω谐波的大小并计算得到待测薄膜的热导率。