[发明专利]多应力传感的自驱动复合传感器有效
| 申请号： | 201810319014.8 | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN110174196B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 陈翔宇;任泽伟;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 北京纳米能源与系统研究所 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L5/167 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 101400 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多应力传感的自驱动复合传感器，包括：基底；电极层，位于基底之上，包含：分区电极阵列，该分区电极阵列由至少两个电极单元构成；以及第一微型毛刺阵列，分布于电极单元的上表面；以及介电层，与电极层相对设置，包含：介电层基底；以及第二微型毛刺阵列，分布于介电层基底的下表面；其中，电极层与介电层相贴合，第一微型毛刺阵列与第二微型毛刺阵列呈交叉分布状态，并且每个电极单元的第一微型毛刺阵列具有未被介电层上的第二微型毛刺阵列覆盖的部分。该自驱动复合传感器可同时表征复合作用力中正向力和切向力的大小、作用位置、以及方向等，毛刺的形变还有助于对微弱的切向力进行有效的检测，提高了所检测力的范围和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 传感 驱动 复合 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种多应力传感的自驱动复合传感器，包括：基底；电极层，位于基底之上，包含：分区电极阵列，该分区电极阵列由至少两个电极单元构成；以及第一微型毛刺阵列，分布于电极单元的上表面；以及介电层，与电极层相对设置，包含：介电层基底；以及第二微型毛刺阵列，分布于介电层基底的下表面；其中，电极层与介电层相贴合，第一微型毛刺阵列与第二微型毛刺阵列呈交叉分布状态，并且每个电极单元的第一微型毛刺阵列具有未被介电层上的第二微型毛刺阵列覆盖的部分。
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