[发明专利]借助于干涉测量的高分辨率距离测量

摘要

借助于干涉测量的高分辨率距离测量。本发明涉及一种借助于干涉测量来测量距离的方法和测量仪器，该方法和测量仪器借助于测量辐射和相对于该测量辐射被频率偏移的参考辐射，频率偏移由载波信号所致动的移频器产生，其中，在推导距离测量的范围内，系统时钟与用于捕获载波信号的载波频率的参考计数器分离，并且注意系统时钟和参考时钟尽可能不同，以获得相位信息，并且从而实现分辨率的提高。

主权项

1.一种用于借助于干涉测量来确定到回射目标(2)的距离的变化的方法，所述方法包括以下步骤：·产生限定的频率的辐射，其中，o所述辐射中的至少一些被用作参考辐射，并且o所述辐射中的至少一些被作为测量辐射朝向所述目标(2)发射；·将所述测量辐射、所述参考辐射和至少部分地基于从所述目标(2)返回的所述测量辐射中的一些的接收辐射中的至少一个中的一些的频率偏移，其中，频率偏移是借助于由载波信号致动的移频器(8、8’)来产生的，特别地借助于声光调制器来产生的，其中，所述载波信号具有载波频率；·基于所述接收辐射和所述参考辐射中的至少一些来捕获叠加信号；·基于所述叠加信号来产生具有干涉仪输出频率的干涉仪输出信号，所述干涉仪输出频率以下被称为IFM频率；以及·基于所述IFM频率和所述载波频率，特别地，基于多普勒效应，即，基于波长增量的离散的正值和负值，推导距离的变化，所述波长增量基本上被提供为所述测量辐射的波长的一半的整数倍，其中，出于推导所述距离的变化的目的，·通过接收计数器(12、40A)的接收计数来捕获所述IFM频率；·通过参考计数器(11、40B)的参考计数来捕获所述载波频率；以及·借助于同步构件基于具有系统频率的系统时钟(10)将所述接收计数和所述参考计数传递到公共系统计数系统中，使得基于所述系统计数系统的系统计数来推导到所述目标(2)的距离的当前变化，其特征在于，·所述系统频率与所述载波频率相差限定的差频，并且·考虑到在所述系统计数系统的多个时钟脉冲(15)上限定的计数范围内的所述系统计数系统的计数器历史，特别地，通过在所限定的计数范围内对所述计数器历史进行积分来推导所述距离的变化。