[发明专利]一种在柔性衬底上制备金属纳米结构的方法在审
| 申请号： | 201810319955.1 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN108467011A | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 金崇君;郑超群;刘文杰 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 张玲春 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在柔性衬底上制备金属纳米结构的方法。本发明的方法包括：在原始衬底上形成纳米结构；模板复制形成所述纳米结构的反结构的压印模板；在临时衬底上形成一定膜厚的水溶性材料；利用纳米压印在临时衬底上形成具有纳米结构的水溶性材料；在上述结构上蒸镀金属材料；撕掉纳米结构上的上层金属；刻蚀去除部分水溶性材料，从而露出下层金属；将柔性衬底贴合于露出的金属表面，然后去除水溶性材料和临时衬底，从而将金属纳米结构制备于柔性衬底表面。本发明采用模板进行纳米压印，所用的模板可以重复进行多次压印而不被损坏，因此具有低成本的优点，避免了在将纳米结构转移到柔性衬底过程中有机溶剂的使用，从而减小了结构的形变。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 纳米结构 水溶性材料 制备金属纳米 纳米压印 去除 金属纳米结构 金属材料 金属 衬底表面 金属表面 模板复制 压印模板 有机溶剂 低成本 反结构 形变 减小 刻蚀 膜厚 撕掉 贴合 下层 压印 蒸镀 制备 上层 重复 | ||
【主权项】：
1.一种在柔性衬底上制备金属纳米结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，在干净的原始衬底上形成纳米结构；步骤二，利用模板复制的方法，形成所述纳米结构的反结构的压印模板；步骤三，在临时衬底上形成具有一定膜厚的水溶性材料；步骤四，利用纳米压印的方法，将压印模板与水溶性材料贴合，并施加一定的温度和压力；步骤五，温度冷却至室温之后，取下压印模板，从而在临时衬底上形成具有纳米结构的水溶性材料；步骤六，在上述纳米结构上蒸镀金属材料，金属材料厚度小于水溶性材料上纳米结构的高度；步骤七，用蓝膜或胶带撕掉纳米结构上的上层金属；步骤八，采用具有高选择比的刻蚀方法，去除部分具有纳米结构的水溶性材料，从而露出下层金属；步骤九，将最终柔性衬底贴合于露出的金属表面，然后将样品浸泡于水中，去除水溶性材料和临时衬底，将金属纳米结构制备于柔性衬底表面。
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