[发明专利]一种CVD石墨烯干法转移方法有效
| 申请号： | 201810320411.7 | 申请日： | 2018-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN108516541B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 李连碧;臧源;胡继超;林生晃;贺小敏;褚庆;冯松;蒲红斌;封先锋;宋立勋;雷倩倩;涂喆研 | 申请（专利权）人： | 西安工程大学;西安理工大学 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194;C01B32/186 |
| 代理公司： | 西安合创非凡知识产权代理事务所(普通合伙) 61248 | 代理人： | 杨蕾 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CVD石墨烯干法转移方法，在石墨烯/铜箔上依次旋涂配置的PVP胶和PVA胶，烘箱烘干；将所得的PVA/PVP/石墨烯/铜箔取出，剥离PVA/PVP/石墨烯薄膜，然后将剥离的薄膜转移至两片透明载玻片中间，预热，使薄膜自然舒展后，浸入温热的无水乙醇中5s后取出，粘附在清洗过后的衬底上，待自然晾干后，置于75℃的水蒸气中10min，置于烘箱烘干；将PVA/PVP/石墨烯/衬底取出，置于75℃的去离子水中，清除PVA/PVP胶体后，去离子水清洗5次，烘箱烘干。本发明具有保护胶残留较少，无重金属残留，有机溶剂残留少、转移石墨烯用时少、成本低，转移墨烯质量较高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 石墨 烯干法 转移 方法 | ||
【主权项】：
1.一种新型CVD石墨烯干法转移方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、配制PVP(聚乙烯吡咯烷酮)、PVA(聚乙烯醇)胶体；PVP胶：称取1g PVP白色粉末，加入1ml去离子水，再向其中加入2ml NVP(n‑乙烯基吡咯酮)，最后加入无水乙醇至10ml，并手动搅拌至完全溶解即可，密封、0℃‑4℃低温保存；PVA胶：称取1g PVA白色粉末，加入10ml去离子水，置于磁力搅拌器上，温度设置为80℃，搅拌时间1h，直至完全溶解，呈粘稠胶状，密封、常温保存；S2、按顺序旋涂胶体；剪取所需大小的石墨烯/铜箔，将其放入密闭的去离子水上，使用50℃水浴加热3h后，取出，在其石墨烯面上依次旋涂所得的PVP胶和PVA胶，烘箱烘干；S3、将所得的PVA/PVP/石墨烯/铜箔取出，剥离PVA/PVP/石墨烯薄膜，然后将剥离的薄膜转移至两片透明载玻片中间，在热板上75℃预热90s，使薄膜自然舒展；S4、转移石墨烯将自然舒展的PVA/PVP/石墨烯薄膜浸入50℃的无水乙醇中5s后取出，粘附在清洗过后的衬底上，待自然晾干后，置于75℃的水蒸气中10min，此时薄膜与衬底牢固粘附，置于烘箱烘干，烘箱温度110℃，时间10min，得PVA/PVP/石墨烯/衬底；S5、去胶将PVA/PVP/石墨烯/衬底取出，置于75℃的去离子水中10min‑15min，清除PVA/PVP胶体后，置于去离子水中清洗5次，置于烘箱内，烘干，即可。
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