[发明专利]一种频率可调的宽带红外隔离元件有效
| 申请号： | 201810320850.8 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN108490540B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 刘志军;李春雨;吴志明;蒋亚东 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124 |
| 代理公司： | 51229 成都正华专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 何凡 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种频率可调的宽带红外隔离元件，属于光学元件技术领域。该隔离元件具有分层结构，从下到上依次为硅衬底、金属光栅、介质膜和石墨烯层，石墨烯层和硅衬底分别与电源的正负极相连接；其中，石墨烯层上开设有“工”字形孔，“工”字形孔与所述金属光栅中的金属条之间的夹角为45°。采用本发明中隔离元件，可有效解决现有光隔离元件成本高、体积大、不易集成以及损耗高、透光率低、工作频段不可调的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 隔离元件 石墨烯层 金属光栅 频率可调 硅衬底 宽带 分层结构 工作频段 光学元件 有效解决 元件成本 光隔离 夹角为 介质膜 金属条 透光率 正负极 电源 | ||
【主权项】：
1.一种频率可调的宽带红外隔离元件，其特征是：所述隔离元件从下到上依次为硅衬底、金属光栅、介质膜和石墨烯层，所述石墨烯层和硅衬底分别与电源的正负极相连接；其中，石墨烯层上开设有“工”字形孔，所述“工”字形孔与所述金属光栅中的金属条之间的夹角为45°；所述金属光栅的周期为440nm，金属条的宽度为200nm；所述硅衬底为N掺杂或P掺杂硅片，掺杂浓度为10
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