[发明专利]基于OFDR的硅基波导背反射传感装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种基于OFDR的硅基波导背反射传感装置及其测量方法。装置包括可调谐激光器、触发干涉仪、光纤环形器、偏振控制与分束模块、测量干涉仪、耦合传感模块、高速采集模块和计算机。可调谐激光器发出扫频激光，偏振控制与分束模块控制扫频激光的偏振态并将其分束，第一路光进入触发干涉仪并产生第一拍频信号作为外部时钟；第二路光进入全保偏的测量干涉仪，第三路光经过光纤环形器与耦合传感模块生成背反射信号光，背反射信号光与第二路光干涉产生第二拍频信号，高速采集模块和计算机对第二拍频信号进行解调并得出位置信息。本发明通过快速、方便的非侵入式测量，可以精确测量硅基波导的光束部分长度和光束在硅基波导中的传播质量。

主权项

1.基于OFDR的硅基波导背反射传感装置，其特征在于，该装置包括可调谐扫频激光器、偏振控制与分束模块、触发干涉仪、光纤环形器、测量干涉仪、耦合传感模块、高速采集模块和计算机；所述可调谐扫频激光器发出线性周期变化的扫频激光入射到偏振控制与分束模块，所述偏振控制与分束模块控制扫频激光的偏振态，并将其分为三路，分别进入触发干涉仪、光纤环形器和测量干涉仪；所述触发干涉仪使入射的扫频激光发生拍频干涉，产生第一拍频信号；所述光纤环形器将入射的扫频激光送入耦合传感模块；所述耦合传感模块连接OFDR系统与被测硅基波导，生成背反射信号光后送回至所述光纤环形器；所述测量干涉仪使入射的扫频激光与光纤环形器的背反射信号光发生拍频干涉，产生第二拍频信号；所述高速采集模块接收第一拍频信号使之成为外部时钟信号，同时接受第二拍频信号；所述计算机对第二拍频信号进行数据处理，得出被测量的硅基波导的相关信息。