[发明专利]一种锗基底宽光谱红外增透光学窗口

摘要

本发明公开了一种锗基底宽光谱红外增透光学窗口，该光谱红外增透光学窗口增透膜使用了锗(Ge)、硫化锌(ZnS)和氟化镱(YbF3)为不同折射率的膜层材料，锗基底上的一种长波红外增透膜，其结构为：在基底(2)的一面沉积正面膜系(1)，在基底的另一面沉积结构相同的反面膜系(3)。使用离子源辅助沉积与合适的基底烘烤温度等特定工艺条件，在基底的两个表面分别沉积8层非规整的膜层。该增透膜元件可以使得在7.5～14.0μm区间具有良好的透光效果，平均透过率＞96％。Ge晶体是一种优质的高折射率红外材料，广泛应用于各种红外滤光片，该增透膜可以有效提高非制冷红外焦平面探测器的光学效率，在宽光谱应用方面呈现出明显优势。