[发明专利]化纤织带涂氧化铝层的方法和装置

摘要

化纤织带表层附着阻燃氧化铝涂层的方法和装置，装置由原料室、PECVD沉积室、涂层室和附属物构成，各室之间通过闸阀的开关可以隔断和联通。化纤织带经PECVD气相沉积烷基铝在表层产生铝薄膜后，在涂层室吸附氧化铝粉体团聚包裹，再经输入富氧空气深度氧化形成非晶的氧化铝薄膜层。

主权项

1.一种化纤织带涂氧化铝层的方法和装置，其特征是装置由原料室、沉积室、涂层室构成，各室之间通过闸阀的开关可以隔断和联通；在原料室有放料门，沉积室室内有电极，上部安有真空泵和烷基铝储罐；涂层室有取料门，上部有氧化铝储罐，下部有富氧空气输入管的开关；化纤织带经PECVD气相沉积铝薄膜后吸附氧化铝粉体团聚包裹，再经深度氧化形成非晶的氧化铝薄膜层，织带涂氧化铝层的方法有以下步骤：(1)打开各室之间的闸阀，打开放料门放入缠有化纤织带的原料带缠绕轴，拉出化纤织带头经过沉积室接到涂层室的涂层带缠绕轴，涂层带缠绕轴转动可以使化纤织带通过沉积室进入涂层室；关闭放料门、烷基铝罐、富氧空气输入管的开关、氧化铝储罐、取料门；(2)启动真空泵对已经联通的三个腔室抽真空，达到10‑3Pa后关闭真空泵；(3)打开烷基铝罐将烷基铝气体通入沉积室中，保持浓度在3％‑5％；打开氧化铝储罐把氧化铝粉体通入涂层室，保持涂层室内氧化铝悬浮状态，在120‑200mg/m3；(4)启动PECVD的电极，转动涂层带缠绕轴使化纤织带保持拉直和移动，烷基铝气体等离子化使铝离子沉积在化纤织带表层形成纳米铝薄膜后进入涂层室缠绕在涂层带缠绕轴；(5)覆有铝薄膜的化纤织带进入涂层室均匀吸附ρ型氧化铝粉体，运行过程间歇打开氧化铝储罐向涂层室输入氧化铝粉，保持涂层室的氧化铝在120‑200mg/m3。(6)化纤织带完全缠绕到涂层带缠绕轴后，关闭PECVD电极，关闭沉积室和涂层室之间的闸阀；打开涂层室的富氧空气输入管的开关，向涂层室通入富氧干燥空气，至涂层室压力达到常压打开取料门，取出涂有氧化铝薄膜涂层的化纤织带。