[发明专利]一种多纵模激光器谐振腔FSR测量装置及测量方法

摘要

本发明涉及激光器技术领域，尤其涉及一种多纵模激光器谐振腔FSR测量装置及测量方法，测量装置均包括多纵模激光器、振动目标、滑块、滑轨、分束器、光衰减器、光电探测器、信号预处理单元和信号处理单元，振动目标的振动面附着有反射膜或者反射平面镜，多纵模激光器出射激光到振动目标上，振动目标接收出射激光并反馈回激光器谐振腔内，振动目标底部固定于滑块上，滑块设置于滑轨上，分束器将自混合信号分束到光电探测器上，光电探测器输出端依次连接信号预处理单元和信号处理单元。本发明结构简单，易于实现，制造成本低，能够实现多纵模激光器谐振腔FSR的实时非接触高精度测量。

主权项

1.一种多纵模激光器谐振腔FSR测量装置，其特征在于：包括多纵模激光器、振动目标、滑块、滑轨、分束器、光衰减器、光电探测器、信号预处理单元和信号处理单元，所述振动目标能够发生振动，且振动面附着有反射膜或者反射平面镜；所述多纵模激光器为待测激光光源，出射激光到振动目标上；所述振动目标接收多纵模激光器出射的激光并通过反射膜或者反射平面镜反馈回多纵模激光器谐振腔内，形成自混合信号；所述振动目标底部固定于滑块上；所述滑块设置于滑轨上并且可沿滑轨水平移动，所述滑轨与出射激光处于同一直线上；所述多纵模激光器与振动目标之间的光路上依次设置分束器和光衰减器；所述分束器用于将自混合信号分束到光电探测器上；所述光电探测器用于将接收到的激光信号转化为电信号后发送到信号预处理单元；所述信号预处理单元用于对接收到的电信号进行预处理，所述预处理至少包括整形、滤波；所述信号处理单元用于对预处理后的电信号进行分析处理，获得激光器FSR测量结果。