[发明专利]基板玻璃加工微环境洁净度控制系统在审
| 申请号： | 201810327203.X | 申请日： | 2018-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN108626833A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 张仁海;穆美强;苏记华;严雷;黄志军;王展;王陆钰;郭东 | 申请（专利权）人： | 郑州旭飞光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F24F7/06 | 分类号： | F24F7/06;F24F3/16;F24F13/02 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 辛自强;陈庆超 |
| 地址： | 450016 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种基板玻璃加工微环境洁净度控制系统，包括洁净空调，所述系统还包括局部换气装置，该装置包括抽气设备(1)和气管(3)，所述气管(3)的一端与所述抽气设备(1)的进气口流体连通，所述气管(3)的管壁上开设有多个进气孔(4)。本公开提供的系统能够对玻璃加工设备周边空气循环次数，控制局部微环境洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 洁净度 微环境 气管 抽气设备 基板玻璃 控制系统 玻璃加工设备 进气口流体 换气装置 洁净空调 周边空气 进气孔 管壁 连通 加工 | ||
【主权项】：
1.一种基板玻璃加工微环境洁净度控制系统，包括洁净空调，其特征在于，所述系统还包括局部换气装置，该装置包括抽气设备(1)和气管(3)，所述气管(3)的一端与所述抽气设备(1)的进气口流体连通，所述气管(3)的管壁上开设有多个进气孔(4)。
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