[发明专利]一种高精度金属掩膜板及制造方法、高精度金属掩膜装置在审
| 申请号： | 201810327409.2 | 申请日： | 2018-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN110373629A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 高志豪 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C25D1/08 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 臧云霄;周骏 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种高精度金属掩膜板及制造方法、高精度金属掩膜装置。所述高精度金属掩膜板包括：至少一显示遮挡区，所述显示遮挡区包括多个开口以及环绕所述开口的非开口区；以及非显示遮挡区，环绕所述显示遮挡区，其中，所述非显示遮挡区包括至少一第一掩膜强化区，所述第一掩膜强化区的板厚大于所述非开口区的板厚。该高精度金属掩膜板可以使具有较高的精度的同时，兼具较高的强度，避免其在张网过程中出现褶皱的问题，提高其质量和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 遮挡区 金属掩膜板 金属掩膜 开口区 板厚 掩膜 开口 环绕 褶皱 张网 制造 | ||
【主权项】：
1.一种高精度金属掩膜板，其特征在于，所述高精度金属掩膜板包括：至少一显示遮挡区，所述显示遮挡区包括多个开口以及环绕所述开口的非开口区；以及非显示遮挡区，环绕所述显示遮挡区，其中，所述非显示遮挡区包括至少一第一掩膜强化区，所述第一掩膜强化区的板厚大于所述非开口区的板厚。
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