[发明专利]一种制备塑性提高的非晶/非晶纳米多层薄膜的方法有效
| 申请号： | 201810327877.X | 申请日： | 2018-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN108588646B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 王飞;李佳乐;黄平 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35;C23C28/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 田洲 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种制备塑性提高的非晶/非晶纳米多层薄膜的方法，采用磁控溅射的方法沉积第一非晶层，然后在第一非晶层上再沉积第二非晶层，交替沉积形成非晶/非晶纳米多层薄膜。本发明制备的多层膜界面明晰,可以很容易通过控制单层薄膜的厚度来得到塑性提高的多层薄膜，从而为制备力学性能可控的非晶/非晶纳米多层薄膜材料提供可能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 塑性 提高 纳米 多层 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备塑性提高的非晶/非晶纳米多层薄膜的方法，其特征在于，采用磁控溅射的方法沉积第一非晶层，然后在第一非晶层上再沉积第二非晶层，交替沉积形成非晶/非晶纳米多层薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810327877.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种表面增强拉曼散射基底的制备方法
- 下一篇：一种仿金属的塑料阀门的制造方法
- 同类专利
- 专利分类
