[发明专利]一种具有磁各向异性的双向可拉伸磁性薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201810328270.3 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN108630379A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 周政;李润伟;詹清峰;谢亚丽;杨华礼;马晓琴 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;中国科学院大学 |
| 主分类号： | H01F10/28 | 分类号： | H01F10/28;H01F10/30;H01F10/00;H01F41/18;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 单英 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有磁各向异性的双向可拉伸磁性薄膜及其制备方法。该磁性薄膜包括衬底、金属缓冲层、铁磁层和与保护层，其中衬底采用在二维方向具有可拉伸性的弹性衬底。通过对弹性衬底在二维方向预拉伸一定量并固定，然后采用磁控溅射技术，在弹性衬底表面依次直流溅射沉积金属缓冲层、铁磁层、保护层，最后沿着二维方向缓慢释放弹性衬底，从而获得磁各向异性磁性薄膜。与现有技术相比，本发明的磁性薄膜结构简单，制备方法简单，具有磁各向异性，在工业应用方面具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性薄膜 磁各向异性 弹性衬 二维方向 制备 金属缓冲层 保护层 铁磁层 衬底 拉伸 磁控溅射技术 直流溅射沉积 工业应用 缓慢释放 可拉伸性 预拉伸 应用 | ||
【主权项】：
1.一种具有磁各向异性的双向可拉伸磁性薄膜，包括衬底、金属缓冲层、铁磁层和保护层，其特征是：所述的衬底是在二维方向具有可拉伸性的弹性衬底；所述的衬底表面为金属缓冲层；所述的金属缓冲层表面为铁磁层；所述的铁磁层表面为保护层。
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