[发明专利]摄像装置和电子设备在审

专利信息
申请号: 201810330102.8 申请日: 2014-09-19
公开(公告)号: CN108735767A 公开(公告)日: 2018-11-02
发明(设计)人: 万田周治;桧山晋;志贺康幸 申请(专利权)人: 索尼公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H04N5/378
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 卫李贤;曹正建
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种摄像装置和电子设备。其中,摄像装置可包括:基板;第一光电转换区,其设置在所述基板中;第二光电转换区,其设置在所述基板中;凹槽,其设置在所述第一光电转换区和所述第二光电转换区之间;第一氧化铪膜,其设置在所述沟槽中;第一氧化钽膜或第二氧化铪膜,其设置在所述沟槽中且位于所述第一氧化铪膜的内侧;第二氧化钽膜或第三氧化铪膜,其设置在所述沟槽中且位于所述第一氧化钽膜或所述第二氧化铪膜的内侧;以及第一氧化硅膜,其在所述沟槽中位于所述第二氧化钽膜或所述第三氧化铪膜的内侧。
搜索关键词: 氧化铪膜 光电转换区 氧化钽膜 摄像装置 基板 电子设备 氧化硅膜
【主权项】:
1.一种摄像装置,包括:基板;第一光电转换区,其设置在所述基板中;第二光电转换区,其设置在所述基板中;凹槽,其设置在所述第一光电转换区和所述第二光电转换区之间;第一氧化铪膜,其设置在所述沟槽中;第一氧化钽膜或第二氧化铪膜,其设置在所述沟槽中且位于所述第一氧化铪膜的内侧;第二氧化钽膜或第三氧化铪膜,其设置在所述沟槽中且位于所述第一氧化钽膜或所述第二氧化铪膜的内侧;以及第一氧化硅膜,其在所述沟槽中位于所述第二氧化钽膜或所述第三氧化铪膜的内侧。
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