[发明专利]一种复合膜厚度在线测量系统在审
| 申请号： | 201810330428.0 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN108426531A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 李星辉;华振;王晓浩;倪凯;周倩;钟伦超;王培荣 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 杨帅峰 |
| 地址： | 518055 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种复合膜厚度在线测量系统，能够实时、高精度的获取复合膜同一探测区域的各层厚度。其中复合膜包括不透明基底层和透明涂层。通过激光三角法测量模块获取不透明基底的厚度参数，通过红外测量模块获取透明涂层的厚度参数，两个测量模块共用主要光路通道，保证内部结构紧凑；同时把两个测量模块的被测区域限定在同一位置处，实现复合膜同一区域参数的同时、高精度、在线测量。 | ||
| 搜索关键词： | 复合膜 在线测量系统 测量模块 厚度参数 模块获取 透明涂层 不透明 激光三角法测量 光路通道 红外测量 区域限定 探测区域 同一区域 同一位置 在线测量 层厚度 基底层 基底 紧凑 保证 | ||
【主权项】：
1.一种复合膜厚度在线测量系统，其特征在于，所述复合膜包括不透明基底层和透明涂层；所述测量系统包括：激光三角法测量模块、红外测量模块以及处理模块；其中所述红外测量模块设置在所述复合膜透明涂层所在侧，用于测量透明涂层的厚度；所述激光三角法测量模块用于测量不透明基底层的厚度；所述激光三角法测量模块和红外测量模块对准待测量的复合膜的同一位置，测量所述复合膜同一位置处的透明涂层和不透明基底层的厚度。
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