[发明专利]基于声光可调谐滤波器的光学相干显微光谱成像探测装置

摘要

本发明涉及一种基于声光可调谐滤波器的光学相干显微光谱成像探测装置，该装置可以超速的、高精度的、无接触的进行物体表面光谱成像和表面三维强度信息探测。该装置中光源产生的辐射光被光纤耦合器分为两束光；一束光被第一偏振控制调制后再经第一准直透镜组准直后被可沿X向移动的反射镜反射后形成参考光，参考光沿原路返回至2×2光纤耦合器；另一束光被第一聚焦透镜聚焦在样品上后产生样品反射光，样品反射光与参考光在2×2光纤耦合器内产生干涉光，干涉光被第二准直透镜组准直后再由第二偏振控制调制进入AOTF滤波单元中；AOTF滤波单元中产生偏振光然后被探测器采集，探测器与计算机连接；光谱信息经计算机处理后可得到样品的三维层析图像。

主权项

1.一种基于声光可调谐滤波器的光学相干显微光谱成像探测装置，其特征在于：包括光源、光隔离器、光纤、2×2光纤耦合器、第一准直透镜组、第二准直透镜组、第一聚焦透镜、第二聚焦透镜、第一偏振控制、第二偏振控制、第三偏振控制、AOTF滤波单元、反射镜、探测器以及计算机；光源产生的辐射光依次经过光隔离器和2×2的光纤耦合器后被分为两束光；其中一束光被第一偏振控制调制后再经第一准直透镜组准直后被可沿X向移动的反射镜反射后形成参考光，所述参考光沿原路返回至2×2光纤耦合器；另一束光被第一聚焦透镜聚焦在可沿Y、Z方向振动的样品后产生样品反射光，样品反射光与参考光在2×2光纤耦合器内发生干涉后产生干涉光，干涉光被第二准直透镜组准直后再由第二偏振控制调制进入AOTF滤波单元中；干涉光在AOTF滤波单元中与AOTF滤波单元产生的超声波发生声光互作用从而产生偏振光，满足动量匹配条件的偏振光被衍射，被衍射的偏振光经第二聚焦透镜聚焦后被探测器采集，未被衍射的偏振光被第三偏振控制滤掉，最后探测器把光谱信息传输给计算机；光谱信息经计算机处理后得到样品不同深度的结构信息，再配合计算机获取的可沿Y、Z方向振动的样品图像信息，即可得到样品的三维层析图像。