[发明专利]一种提高区熔气相掺杂稳定性的掺杂装置及方法在审
| 申请号： | 201810331557.1 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN108411357A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;吴磊;王遵义;吴峰;李东;王克旭 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/12 | 分类号： | C30B13/12;C30B13/28;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种提高区熔气相掺杂稳定性的掺杂装置及方法，通过合理的管路结构设计及在掺杂气路上设置掺杂罐，实现掺杂气体及掺杂氩气的均匀混合，通过对掺杂气均匀性的控制、高精度压力的稳定控制及气体流量的控制，可以精确有效的控制进入区熔炉炉膛内的掺杂气流量的相对比例，不但满足了不同的电阻率产品0.1‑8000欧姆.厘米的加工工艺要求，同时可将现有气相掺杂技术的理论计算与实际电阻率偏差降低到5％左右。 | ||
| 搜索关键词： | 气相掺杂 掺杂 掺杂装置 电阻率 炉膛 加工工艺要求 高精度压力 氩气 掺杂气体 管路结构 理论计算 偏差降低 气体流量 稳定控制 掺杂罐 进入区 均匀性 气流量 熔炉 | ||
【主权项】：
1.一种提高区熔气相掺杂稳定性的掺杂装置，所述掺杂装置与区熔炉(1)连通，其特征在于：包括保护氩气管路(2)、掺杂氩气管路(3)、掺杂气体管路(4)、掺杂罐(5)、掺杂气入炉管路(6)及排气管路(7)；所述掺杂氩气管路(3)及所述掺杂气体管路(4)的输出端均与所述掺杂罐(5)的进气口连通，所述掺杂罐(5)的出气口与所述掺杂气入炉管路(6)的输入端连通；所述掺杂气入炉管(6)的输出端及所述保护氩气管路(2)的输出端均与区熔炉(1)的中炉室(20)连接；所述排气管路(7)的进气端与所述区熔炉(1)内腔连通；所述保护氩气管路(2)、所述掺杂氩气管路(3)、所述掺杂气体管路(4)、所述掺杂气入炉管路(6)及排气管路(7)上均设有质量流量计(8)；所述掺杂罐(5)上设有压力控制器(9)。
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