[发明专利]具有精密功率检测器的自激式全固态射频电源在审
| 申请号： | 201810331863.5 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN110380694A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 李勇滔 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H03F1/52 | 分类号： | H03F1/52;H03F1/56;H03F3/195;H03F3/213 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有精密功率检测器的自激式全固态射频电源，包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路、控制器和精密功率检测器，精密功率检测器检测射频功率放大电路输出至负载的入射功率和反射功率；射频信号发生器将根据入射功率和反射功率来调整其输出功率信号的频率，以使得射频功率放大电路输出至负载的反射功率小于入射功率的1％，控制器根据入射功率和反射功率来调整供电线路施加至射频功率放大电路的电压。本发明能够实现高精度的射频功率检测，检测范围宽，精度一致性好，死区小，能够实时保护射频功率放大电路，避免损坏失效。 | ||
| 搜索关键词： | 射频功率放大电路 功率检测器 反射功率 入射功率 精密 射频信号发生器 供电线路 射频电源 控制器 全固态 自激式 射频功率检测 实时保护 输出功率 一致性好 输出 检测 死区 施加 | ||
【主权项】：
1.一种具有精密功率检测器的自激式全固态射频电源，所述自激式全固态射频电源包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路、控制器，其特征在于：还包括有精密功率检测器，所述精密功率检测器分别电气连接所述射频信号发生器、所述射频功率放大电路和所述控制器，所述精密功率检测器检测所述射频功率放大电路输出至负载的射频功率状况，所述射频功率状况包括有入射功率和反射功率；所述射频信号发生器将根据所述精密功率检测器检测到的所述入射功率和所述反射功率来调整其输出功率信号的频率，以使得所述射频功率放大电路输出至负载的所述反射功率小于所述入射功率的1％，所述控制器根据来自所述精密功率检测器的所述入射功率和所述反射功率来调整与所述控制器电气连接的所述供电线路施加至所述射频功率放大电路的电压。
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