[发明专利]一种改进型α-β扫描方法有效
申请号: | 201810332815.8 | 申请日: | 2018-04-13 |
公开(公告)号: | CN108489393B | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 刘俭;由小玉;陈刚;王宇航;刘辰光;谭久彬 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学;南京谱锐西玛仪器有限公司;北京锐驰恒业仪器科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 11465 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 李冉 |
地址: | 150000 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙;23 |
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摘要: | 一种改进型α‑β扫描方法,其步骤包括:首先使用示波器和波形发生器获取检流式振镜系统阶跃响应曲线,根据阶跃响应曲线计算检流式振镜系统的幅频响应特性,明确振镜系统的频率—相位之间的对应关系;然后使用上位机软件构造两个幅值变化规律一致、相位差恒为π/2、初始相位不同、初始相位与频率相关的α正弦信号和β正弦信号作为检流式振镜系统的控制信号,驱动振镜扫描运动最终实现扫描光斑以同心圆轨迹完成二维扫描;最后利用目标轨迹重构扫描图像。本发明将延迟相位补偿加入控制信号,提前抑制相位延迟引入的不良影响,具有实时校正由相位延迟所导致的成像畸变的优势。 | ||
搜索关键词: | 振镜系统 检流 阶跃响应曲线 初始相位 相位延迟 正弦信号 改进型 扫描 幅频响应特性 波形发生器 上位机软件 同心圆轨迹 成像畸变 二维扫描 幅值变化 加入控制 控制信号 目标轨迹 频率相关 扫描光斑 扫描图像 实时校正 相位补偿 振镜扫描 示波器 相位差 重构 延迟 驱动 引入 | ||
【主权项】:
1.一种改进型α-β扫描方法,其特征在于,包括:/n(a)使用波形发生器生成阶跃信号u(t)输入到检流式振镜系统中,使用示波器测量检流式振镜系统单位阶跃响应曲线g(t);/n(b)根据步骤(a)所测的单位阶跃响应曲线g(t)确定上升时间t
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