[发明专利]自动清洗设备

摘要

本发明涉及硅片清洗设备领域，尤其是一种避免损坏硅片的清洗设备，具体涉及自动清洗设备，包括清洗筒，清洗筒上设有回流机构，回流机构用于搅动清洗筒内的清洗液，清洗筒内还设有多个互不相连的钢网囊，钢网囊内均设有用于包裹硅片的软质网膜，软质网膜与钢网囊互不相连，钢网囊内均设有抖动机构，抖动机构包括多个弹性件，抖动机构上固设有夹持部，夹持部包括夹头，夹头用于卡夹硅片，夹头夹持硅片的端部上粘接有软膜，弹性件另一端连接在夹持部上，弹性件以夹持部为中心点均匀分布。本发明通过清洗液的流动来搅动清洗液中的硅片，并在搅动时使硅片进行抖动，清洗液在硅片表面形成细小的水流，使硅片与清洗液接触更充分，硅片清洗更彻底。

主权项

1.自动清洗设备，包括盛有清洗液的清洗筒，其特征在于：所述清洗筒上设有回流机构，所述回流机构用于搅动清洗筒内的清洗液，所述清洗筒内还设有多个互不相连的钢网囊，所述钢网囊内均设有用于包裹硅片的软质网膜，所述软质网膜与钢网囊互不相连，所述钢网囊内均设有抖动机构，所述抖动机构包括多个弹性件，所述弹性件一端连接在钢网囊的内壁上，所述抖动机构上固设有夹持部，所述夹持部包括夹头，所述夹头用于卡夹硅片，所述夹头夹持硅片的端部上粘接有软膜，所述弹性件另一端连接在夹持部上，所述弹性件以夹持部为中心点均匀分布。