[发明专利]磁控直流溅射系统中除气装置在审
| 申请号： | 201810334208.5 | 申请日： | 2018-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN108239762A | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 伍志军 | 申请（专利权）人： | 苏州赛森电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 | 代理人： | 韦宇昕 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控直流溅射系统中除气装置，其包括有除气腔室，以及延伸至除气腔室内部的传输轨道；所述除气腔室之中，传输轨道由两个彼此平行的传输链条构成，两条传输链条之中分别设置有多个传输孔，两条传输链条之中的传输孔一一相对；每一个传输孔内均设置有传输连杆，传输连杆采用“L”型结构，其端部设置有用于放置物料的置放盘，置放盘在水平方向上进行延伸；采用上述技术方案的磁控直流溅射系统中除气装置，其使得物料的上端面与下端面均可保持与空气的接触，从而使得除气腔室对于物料的湿气去除效果得以显著改善。 | ||
| 搜索关键词： | 直流溅射系统 除气腔室 除气装置 传输链条 传输孔 磁控 传输轨道 置放盘 传输 彼此平行 湿气去除 除气腔 上端面 室内部 下端面 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种磁控直流溅射系统中除气装置，包括：除气腔室，具有一电热源，所述电热源设置在所述除气腔室内部；传输轨道，所述传输轨道延伸至所述除气腔室内部；传输链条，所述传输链条具有两个，且彼此平行，所述传输轨道由两个所述传输链条构成；传输孔，所述传输孔具有多个，分别设置在两条所述传输链条之中，所述传输孔一一相对；传输连杆，所述传输连杆设置在所述的传输孔内。
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