[发明专利]一种微电子元器件旋转清洗装置

摘要

本发明公开了一种微电子元器件旋转清洗装置，涉及微电子清洗设备技术领域，包括清洗槽、驱动装置和旋转喷射装置，所述清洗槽内部设有放置台，所述清洗槽正上方位置的设有旋转座一，所述支柱上端设有顶板，所述顶板中间位置设有旋转座二，所述伺服电机固定在电机固定板，所述链轮一固定在伺服电机的输出轴上，所述链轮二固定在旋转管上，所述旋转喷射装置包括旋转管和旋转喷射管，所述旋转管穿过旋转座一和旋转座二进入清洗槽内部，所述旋转喷射管上端与旋转管固定连接，所述旋转喷射管上设有竖直喷射管和横向喷射管。本发明整个装置结构紧凑，自动化程度高，对微电子元器件进行旋转清洗，采用清洗液喷射清洗，清洗效果好，清洗效率高。

主权项

1.一种微电子元器件旋转清洗装置，其特征在于，包括清洗槽(1)、驱动装置(2)和旋转喷射装置(3)，所述清洗槽(1)上方设有延伸板(10)，且延伸板(10)与清洗槽(1)固定连接，所述清洗槽(1)内部设有放置台(11)，所述延伸板(10)左侧设有竖直架板(10‑1)，所述竖直架板(10‑1)上设有电机固定板(10‑11)，所述清洗槽(1)正上方位置设有旋转座一(10‑2)，且旋转座一(10‑2)通过螺栓固定在延伸板(10)上，所述延伸板(10)上设有四组支柱(10‑2)，所述支柱(10‑3)上端设有顶板(10‑4)，所述顶板(10‑4)中间位置设有旋转座二(10‑41)，且旋转座二(10‑41)通过螺栓固定在顶板(10‑4)上，所述驱动装置(2)包括伺服电机(20)、链轮一(21)、链轮二(22)和链条(23)，所述伺服电机(20)固定在电机固定板(10‑11)，所述旋转喷射装置(3)包括旋转管(30)和旋转喷射管(31)，所述链轮一(21)固定在伺服电机(20)的输出轴上，所述链轮二(22)固定在旋转管(30)上，所述链条(23)通过链轮一(21)和链轮二(22)张紧，所述旋转管(30)穿过旋转座一(10‑2)和旋转座二(10‑41)进入清洗槽(1)内部，且与旋转座一(10‑2)和旋转座二(10‑41)均固定连接，所述旋转喷射管(31)上端与旋转管(30)固定连接，所述旋转喷射管(31)上设有竖直喷射管(31‑1)和横向喷射管(31‑2)。