[发明专利]卡盘台颗粒检测装置

摘要

一种颗粒检测装置，包括：卡盘台，晶片被配置为落座在卡盘台上；穿过卡盘台的成形为闭合同心曲线的第一吸附孔和第二吸附孔；第一吸附模块，其在卡盘台下方连接到第一吸附孔并被配置为提供真空压力；第二吸附模块，其在卡盘台下方连接到第二吸附孔并被配置为提供真空压力；压力计，其被配置为测量第一吸附孔和第二吸附孔的真空压力；以及检测模块，其被配置为从压力计接收第一吸附孔和第二吸附孔的真空压力，并基于接收到的真空压力检测晶片是否被固定以及是否存在颗粒。第一吸附模块和第二吸附模块顺序地将真空压力提供到第一吸附孔和第二吸附孔。

主权项

1.一种卡盘台颗粒检测装置，包括：卡盘台，晶片被配置为落座在所述卡盘台上；第一吸附孔，其穿过所述卡盘台，其中所述第一吸附孔的平面剖面为第一闭合曲线；第二吸附孔，其穿过所述卡盘台，其中所述第二吸附孔的平面剖面为第二闭合曲线，所述第一闭合曲线位于所述第二闭合曲线内；第一吸附模块，其在所述卡盘台下方连接到所述第一吸附孔，并且被配置为提供真空压力；第二吸附模块，其在所述卡盘台下方连接到所述第二吸附孔，并且被配置为提供真空压力；压力计，其被配置为测量所述第一吸附孔和所述第二吸附孔的真空压力；以及检测模块，其被配置为从所述压力计接收所述第一吸附孔和所述第二吸附孔的所述真空压力，并且基于接收到的真空压力检测所述晶片是否被固定以及是否存在颗粒；其中所述第一吸附模块和所述第二吸附模块顺序地将所述真空压力提供到所述第一吸附孔和所述第二吸附孔。