[发明专利]一种基板对位装置、基板及基板对位方法有效
| 申请号： | 201810337872.5 | 申请日： | 2018-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN108519693B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 赵新宇;范晓旺 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1333;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基板对位装置、基板及基板对位方法，所述基板对位装置，用于将待对位基板进行对位校正，所述待对位基板的相对两侧设置有磁性件；所述基板对位装置包括相隔设置的两组对位部件，每一组对位部件上分别设有磁性结构，所述磁性结构能够与所述磁性件之间产生磁性作用力，以使待对位基板悬浮固定于两组所述对位部件之间。本发明所提供的基板对位装置、基板及基板对位方法能够减少基板与对位pin的接触，从而减少对基板造成破损、划伤及对位不准等现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对位 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板对位装置，用于将待对位基板进行对位校正，所述待对位基板的相对两侧设置有磁性件；其特征在于，所述基板对位装置包括相隔设置的两组对位部件，每一组对位部件上分别设有磁性结构，所述磁性结构能够与所述磁性件之间产生磁性作用力，以使待对位基板悬浮固定于两组所述对位部件之间。
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