[发明专利]石英谐振式MEMS磁场传感器有效
| 申请号： | 201810338947.1 | 申请日： | 2018-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN110389307B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 卞雷祥;李大威;文玉梅;李平 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 孟睿 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种石英谐振式MEMS磁场传感器，包括石英音叉、载流弹性支撑梁、振荡电路以及频率计；石英音叉的两端分别固定在一个载流弹性支撑梁上；振荡电路与石英音叉上的电极相连，振荡电路用于激励音叉产生谐振；频率计用于检测振荡电路输出的频率信号；载流弹性支撑梁受磁场作用产生的安培力传递到石英音叉上使石英音叉轴向受力，从而引起石英音叉谐振频率的变化，使用频率计检测石英音叉的频率变化量以检测出磁场。发明具有高Q值，损耗低，检测灵敏度和分辨率高，可用于检测静态、准静态和低频磁场的高灵敏度探测。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 谐振 mems 磁场 传感器 | ||
【主权项】：
1.石英谐振式MEMS磁场传感器，其特征在于，包括石英音叉、载流弹性支撑梁、振荡电路以及频率计；石英音叉的两端分别固定在一个载流弹性支撑梁上；振荡电路与石英音叉上的电极相连，振荡电路用于激励石英音叉产生谐振；频率计用于检测振荡电路输出的频率信号。
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