[发明专利]一种全碳忆阻器及其制备方法有效
申请号: | 201810339076.5 | 申请日: | 2018-04-16 |
公开(公告)号: | CN108682738B | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 诸葛飞;竺臻楠;俞家欢;曹鸿涛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 刘诚午 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种全碳忆阻器,自下而上依次包括衬底、石墨烯底电极层、氧化石墨烯中间介质层和石墨烯顶电极层。还公开了其制备方法,包括:(1)采用抽滤法在衬底上制备石墨烯底电极层;(2)采用抽滤法在石墨烯底电极层上转移氧化石墨烯中间介质层;(3)采用抽滤法在氧化石墨烯中间介质层上转移石墨烯顶电极层。本发明通过低温溶液法制备全碳忆阻器,大大降低了制备忆阻器的成本,且工艺简单,适合大规模工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 全碳忆阻器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种全碳忆阻器的制备方法,其特征在于,包括:(1)采用抽滤法在衬底上制备石墨烯底电极层;(2)采用抽滤法在石墨烯底电极层上转移氧化石墨烯中间介质层;(3)采用抽滤法在氧化石墨烯中间介质层上转移石墨烯顶电极层。
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