[发明专利]正型抗蚀剂膜层合体和图案形成方法有效
| 申请号： | 201810340335.6 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN108732868B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 平野祯典;浅井聪;近藤和纪 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 杜丽利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为正型抗蚀剂膜层合体和图案形成方法。提供了包括热塑性膜和正型抗蚀剂膜的层合体，所述正型抗蚀剂膜包括(A)酚醛清漆树脂‑萘醌二叠氮化物(NQD)系树脂组合物，(B)聚酯和(C)3‑30重量％的有机溶剂。可以将所述抗蚀剂膜转印至有阶梯的支持体而不形成空隙。 | ||
| 搜索关键词： | 正型抗蚀剂膜层 合体 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.正型抗蚀剂膜层合体，其包括作为第一支持体的热塑性膜和在其上的酚醛清漆树脂‑萘醌二叠氮化物(NQD)系正型抗蚀剂膜，所述酚醛清漆树脂‑NQD系正型抗蚀剂膜包括(A)酚醛清漆树脂‑NQD系树脂组合物，(B)聚酯，和(C)3至30重量％的有机溶剂，所述酚醛清漆树脂‑NQD系树脂组合物(A)包括(A‑1)具有酚羟基的酚醛清漆树脂，其中酚羟基的部分或全部氢原子被1,2‑萘醌二叠氮基磺酰基取代，(A‑2)具有酚羟基的酚醛清漆树脂，其中酚羟基的部分或全部氢原子被1,2‑萘醌二叠氮基磺酰基取代；以及具有未取代的酚羟基的酚醛清漆树脂，(A‑3)具有酚羟基的酚醛清漆树脂，其中酚羟基的部分或全部氢原子被1,2‑萘醌二叠氮基磺酰基取代；以及1,2‑萘醌二叠氮基磺酸酯，(A‑4)具有酚羟基的酚醛清漆树脂，其中酚羟基的部分或全部氢原子被1,2‑萘醌二叠氮基磺酰基取代；具有未取代的酚羟基的酚醛清漆树脂，以及1,2‑萘醌二叠氮基磺酸酯，或(A‑5)具有未取代的酚羟基的酚醛清漆树脂和1,2‑萘醌二叠氮基磺酸酯。
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