[发明专利]碲化镉纳米晶复合的宽波段黑磷光电探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种碲化镉纳米晶复合的宽波段黑磷光电探测器，包括基底、依次设置在基底上的碲化镉纳米晶层和黑磷薄片层，以及间隔设置在黑磷薄片层上的源极和漏极，源极和漏极之间形成的沟道结构暴露出部分黑磷薄片层。该探测器可实现同时对可见光和红外光的探测。本发明还提供了一种所述电探测器的制备方法，包括：将基底放入到碲化镉纳米晶水溶液中浸泡4‑10h，制得碲化镉纳米晶层；将黑磷薄片转移到碲化镉纳米晶层上，形成黑磷薄片层；在黑磷薄片层上方以及未被黑磷薄片层覆盖的碲化镉纳米晶层上方旋涂光刻胶，经曝光和显影后，形成电极图案；沉积电极材料，随后剥离光刻胶，形成源极和漏极，得到所述光电探测器。该制备方法简单易操作。

主权项

1.一种碲化镉纳米晶复合的宽波段黑磷光电探测器，其特征在于，包括基底、依次设置在所述基底上的碲化镉纳米晶层和黑磷薄片层，以及间隔设置在所述黑磷薄片层上的源极和漏极，所述源极和所述漏极之间形成的沟道结构暴露出部分所述黑磷薄片层。