[发明专利]一种金属掩膜版在审
| 申请号： | 201810340969.1 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN108330439A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 曹阿江 | 申请（专利权）人： | 湖州博立科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 杭州新源专利事务所(普通合伙) 33234 | 代理人： | 李大刚 |
| 地址： | 313009 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属掩膜版，包括基体(1)，基体(1)上设有通孔(2)，通孔(2)和基体(1)的上表面的交线为上开口(3)，通孔(2)和基体(1)的下表面的交线为下开口(4)，上开口(3)的面积大于下开口(4)面积；上开口(3)相对于下开口(4)向外的偏移距离大于基体(1)的厚度。本发明具有薄膜成型后图案不发生偏移、图案边界清晰的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 上开口 下开口 通孔 金属掩膜 交线 薄膜成型 偏移距离 图案边界 偏移 上表面 下表面 图案 清晰 | ||
【主权项】：
1.一种金属掩膜版，其特征在于：包括基体(1)，基体(1)上设有通孔(2)，通孔(2)和基体(1)的上表面的交线为上开口(3)，通孔(2)和基体(1)的下表面的交线为下开口(4)，上开口(3)的面积大于下开口(4)面积；上开口(3)相对于下开口(4)向外的偏移距离大于基体(1)的厚度。
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