[发明专利]用于确定光栅像在成像平面上的移位的方法和设备和用于确定物体高度的方法和设备有效
| 申请号： | 201810343087.0 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN108548490B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 李世光;郭杰 | 申请（专利权）人： | 中科晶源微电子技术（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开实施例披露用于确定光栅像在成像平面上的移位的方法和设备、用于确定物体高度的方法和设备、和用于调整物体高度的方法和设备。本公开实施例提供的用于确定光栅像在成像平面上的移位的方法中，光栅经光学系统成像为所述光栅像并且投影到光学传感器上的所述成像表面形成光学光栅图案，所述方法包括：利用所述光学传感器接收所述光学光栅图案；保持所述光学传感器上的一部分像素的值且重置其余部分像素的值以形成虚拟的数字光栅图案；通过将光学光栅图案与数字光栅图案重叠并像素化来形成合成光栅图案；和通过测量所述合成光栅图案的积分光强分布，确定所述移位。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 光栅 成像 平面 移位 方法 设备 物体 高度 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定光栅像在成像平面上的移位的方法，所述光栅像投影到光学传感器上的所述成像表面且形成光学光栅图案，所述方法包括：利用所述光学传感器接收所述光学光栅图案；保持所述光学传感器上的一部分像素的值且重置其余部分像素的值以形成虚拟的数字光栅图案；通过将光学光栅图案与数字光栅图案重叠并像素化来形成合成光栅图案；和通过测量所述合成光栅图案的积分光强分布来确定所述移位。
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