[发明专利]烘烤装置及电致发光器件基板的烘烤方法

摘要

本发明涉及一种烘烤装置及电致发光器件基板的烘烤方法，该烘烤装置的顶针有多个，多个顶针穿过加热板以用于顶起待烘烤的基板，多个顶针至少分布于加热板的中部区域以及靠近加热板边缘的区域，且分布于靠近加热板边缘的区域的多个顶针绕加热板边缘成圈设置，这样在基板放置后，不仅在周边能够对基板形成稳定有效的支撑，在中部也能顶起基板，避免基板因重力作用发生翘曲，保证在烘烤过程中基板的各部分的受热均匀性，尤其是在烘烤过程中，基板的中部区域有支撑，可以降低高温对基板变形的影响，有利于提高成膜的均匀性，提高产品的良率。

主权项

1.一种烘烤装置，其特征在于，包括烘烤腔体、顶针、加热板以及升降控制装置，所述顶针以及所述加热板位于所述烘烤腔体内；所述顶针有多个，多个所述顶针穿过所述加热板以用于顶起待烘烤的基板，多个所述顶针至少分布于所述加热板的中部区域以及靠近加热板边缘的区域，且分布于靠近所述加热板边缘的区域的多个顶针绕所述加热板边缘成圈设置；所述升降控制装置用于控制所述顶针与所述加热板在竖直方向上相对运动，以使加热板靠近或远离由所述顶针的端部顶起的所述基板；所述加热板用于对所述基板进行加热烘烤。