[发明专利]一种用于气相沉积设备反应室内的尾气收集环在审
| 申请号： | 201810343403.4 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN108588818A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 张超奇 | 申请（专利权）人： | 陕西飞米企业管理合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C23C16/44 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于气相沉积设备反应室内的尾气收集环，由石墨制备而成；其结构包括有环状的上盖以及位于上盖下方且与上盖配合安装的环状的下盖，上盖下表面位于环状上盖的内环和外环处均设置有环状的第一凸台，下盖的上表面与第一凸台对应处设置有环状的第二凸台，第一凸台分别和对应的第二凸台配合，第一凸台、第二凸台、上盖及下盖之间形成一环状的腔体，位于下盖内环处的第二凸台上均匀开设有多个气孔，下盖上还开设有排气孔。解决了现有技术中存在的钼金属材质的尾气收集环在高温下容易变形进而导致产品稳定性差以及使用寿命短的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 凸台 上盖 下盖 尾气收集 气相沉积设备 内环 室内 产品稳定性 均匀开设 配合安装 使用寿命 排气孔 上表面 下表面 钼金属 石墨 腔体 制备 变形 配合 | ||
【主权项】：
1.一种用于气相沉积设备反应室内的尾气收集环，其特征在于，由石墨制备而成。
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