[发明专利]一种制备自分层复合结构铬铝氮超硬膜的镀膜处理方法在审
| 申请号： | 201810344229.5 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN108504998A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 曾德长;周晟昊;邱兆国;张友生;匡同春 | 申请（专利权）人： | 广东正德材料表面科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 张海文 |
| 地址： | 528400 广东省中山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 发明公开了一种制备自分层复合结构铬铝氮超硬膜的镀膜处理方法，该方法包括如下步骤:(1)将基材进行超声清洗，烘干后装夹于可行星式旋转的工件架上，并置入密封腔室；(2)采用辉光放电对基材进行氩离子轰击清洗；(3)点燃阴极蒸发源，向腔室内通入氮气，在基材上施加负电位并开动工件架，使用电弧离子镀进行铬铝氮硬质膜的制备；(4)镀膜结束后，通过低温循环水对腔室进行冷却，取出即得。与传统的铬铝氮硬质膜相比，本发明采用先进电弧离子镀技术，合理设置了工件架旋转速度，使得所制备的薄膜形成微观自分层的多层纳米复合结构，进一步提高涂层的硬度，使其具有极高的显微硬度和弹性模量，分别达到40GPa以上和796GPa以上。 | ||
| 搜索关键词： | 铬铝 制备 工件架 基材 分层复合结构 镀膜处理 超硬膜 硬质膜 弹性模量 电弧离子镀技术 氮气 阴极 纳米复合结构 低温循环水 电弧离子镀 行星式旋转 氩离子轰击 薄膜形成 超声清洗 合理设置 辉光放电 密封腔室 显微硬度 传统的 负电位 蒸发源 烘干 并置 镀膜 多层 分层 腔室 装夹 冷却 清洗 取出 微观 点燃 施加 室内 | ||
【主权项】：
1.一种制备自分层复合结构铬铝氮超硬膜的镀膜处理方法，其特征在于，包括如下步骤:(1)将基材进行超声清洗，烘干后装夹于可行星式旋转的工件架上，并置入密封腔室；(2)采用辉光放电对基材进行氩离子轰击清洗；(3)点燃阴极蒸发源，向腔室内通入氮气，在基材上施加负电位并开动工件架，使用电弧离子镀进行铬铝氮硬质膜的制备；(4)镀膜结束后，通过低温循环水对腔室进行冷却，取出即得。
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